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一.主要性能及特点:
SCQ-2000TA石英管清洗机是用于清洗PECVD石英管和扩散石英管的设备,用HF酸清然后再用纯水漂洗最后用氮气吹干,适用于直径¢6¢13长度<3000mm的石英管清洗。
二.功能介绍:
设备分为2个清洗槽,每个槽都能满足酸槽要求,为浸泡式清洗,人工装取工件,顶部有吸风罩,由气动隔膜泵将酸在A槽和B槽之间循环抽液,实现清洗功能。
三.技术参数:
电机功率:240W 220V
滚动的转速:10转/分
使用的清洁剂:HF
压缩空气:0.5Mpa-0.7Mpa
外形尺寸:3800*1410*1950mm
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