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一、特点
1、 CX-910是一种功能性镀铜光亮剂、主要应用于连续厚镀酸铜和电铸铜。
2、 该工艺提供具延展性,抗爆裂之半光亮铜镀层,溶液操作简易。
3、 深镀能力强,镀层呈细致晶粒,具优良平整性和低电流区的走位性。
4、 CX-910酸铜光泽剂适用于使用钛蓝阳极的铜槽。
二、镀液组成及操作条件
工 艺 参 数 |
范围 |
最佳值 |
CuSO45H2O |
160-220 克/升 |
180 克/升 |
H2SO4(b=1.8 g/L) |
70-90 克/升 |
80 克/升 |
氯离子 |
60-80 毫克/升(ppm) |
65 毫克/升(ppm) |
CX-910A铜添加剂 |
0.5-1.5 毫升/升 |
1.0 毫升/升 |
CX-910C铜开缸剂 |
4-6 毫升/升 |
5 毫升/升 |
温度 |
20-30 ℃ |
23 ℃ |
阴极电流密度 |
2-6 安培/平方分米 |
4 安培/平方分米 |
阳极电流密度 |
1-3 安培/平方分米 |
|
电压 |
|
0.5-6 V |
搅拌 |
均匀的空气搅拌,机械式阴极移动,速度以0.6-1.4米/分钟,并需加以持续性的过滤 |
阳极 |
置于钛蓝块状磷铜 |
阳极袋 |
聚丙烯阳极袋 |
沉积速率 |
在最佳条件下用4安培/平方分米电镀,1小时可达50微米铜厚 |
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