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超声波震板的震动方式:
1:清洗槽体底部震板
2:清洗槽体侧部震动
3:清洗槽体底部加侧部震动
产品功能
1、炉前清洗:扩散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻胶。
3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛得沾污。
5、外延前清洗:除去埋层扩散后的二氧化硅及表面污物。
6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及广胶残渣。
7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,二氧化硅层。
8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。
9、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。
10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。
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