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一种基板的电镀设备

放大字体  缩小字体发布日期:2012-04-13  浏览次数:1248

专利号(申请号):200680028223.2

公开(公告)号:CN101310046

公开( 公告)日:2008-11-19

申请日:2006-08-03

申请(专利权)人:吉布尔·施密德有限责任公司

页 数:12

摘要:

电镀设备的接触装置具有带一个连续的刚性外侧的接触辊,该刚性外侧与一套筒段连接。套筒段具有一个比旋转轴大的内孔,接触辊支承在该轴上。所以接触辊在径向内一定的活动性,并通过弹簧实现电接触和基本位置的锁定。通过这种活动性,保证了用相当小的压紧力即可达到在基板上的良好接触,即使基板存在不平度。

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