碳纳米管和金属铜复合电镀工艺的优化方法

专利号(申请号)：201110058079.X

公开（公告）号：CN102140668A

公开( 公告)日：2011-08-03

申请日：2011-03-10

申请（专利权）人：上海交通大学

页 数：7

摘要：

一种微纳米技术领域的碳纳米管和金属铜复合电镀工艺的优化方法，采用酸性镀铜的方式将硫酸铜与碳纳米管混合后作为电镀液，进一步加入聚丙烯酸作为分散剂后倒入电镀池中，在超声环境下进行电镀。本发明使碳纳米管牢固和金属铜结合，均匀分布在复合镀层上，从碳纳米管的数量和均匀性上提高复合镀层的质量。