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用于形成突起的非氰类电解金电镀液

放大字体  缩小字体发布日期:2012-03-08  浏览次数:1311

专利号(申请号):200810145867.0

公开(公告)号:CN101363128

公开( 公告)日:2009-02-11

申请日:2008-08-07

申请(专利权)人:恩伊凯慕凯特股份有限公司

页 数:21

摘要:

 本发明公开了用于形成突起的非氰类电解金电镀液,其中含有作为金源的亚硫酸金碱盐或亚硫酸金铵、结晶调整剂、亚硫酸钾组成的传导盐5~150g /L、分子量200~6000的聚亚烷基二醇1mg/L~6g/L和/或两性表面活性剂0.1mg~1g/L、水溶性胺和/或缓冲剂。在图案化了的晶片上使用本发明的金电镀液进行了电解金镀后,通过5分钟以上在200~400℃ 的热处理,形成被膜硬度为50~90Hv,表面的高度差为1.8μm以下的突起。

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