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关 键 词：层析法,各向异性腐蚀,光刻胶,选择电镀,传感器 作 者：孙丽玲 TrevorYork JhonHatfi 概 述： 主要介绍1种用硅的微机械加工技术研制的硅电容式传感器，采用电容层析法(ECT)技术可检测尺寸为50μm左右的微小粒子。其中的主要技术有硅材料的微机械加工技术，特厚光刻胶的匀胶曝光技术，微集成电镀技术。 注：本站部分资料需要安装PDF阅读器才能查看，如果你不能浏览文章全文，请检查你是否已安装PDF阅读器！ |
发布日期：2012-01-12 浏览次数：1163
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关 键 词：层析法,各向异性腐蚀,光刻胶,选择电镀,传感器 作 者：孙丽玲 TrevorYork JhonHatfi 概 述： 主要介绍1种用硅的微机械加工技术研制的硅电容式传感器，采用电容层析法(ECT)技术可检测尺寸为50μm左右的微小粒子。其中的主要技术有硅材料的微机械加工技术，特厚光刻胶的匀胶曝光技术，微集成电镀技术。 注：本站部分资料需要安装PDF阅读器才能查看，如果你不能浏览文章全文，请检查你是否已安装PDF阅读器！ |
