酸性脉冲电镀铜中脉冲参数的作用研究.pdf

关 键 词：酸性硫酸铜,脉冲电镀,脉冲参数,电镀均匀性,添加剂,PCB,

作    者：陈文录 丁万春 穆敦发

    文章通过正交实验，研究了酸性硫酸铜体系中周期反向咏冲电镀的主要脉冲参数及其交互作用对孔壁镀层均匀性的影响。脉冲电流比主要影响着小孔径阴极沉积与阳极溶解的平衡，也影响着阴极沉积与阳极溶解的平衡，同时也影响着添加剂的吸附行为。

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