钇掺杂氧化锌透明导电薄膜的光助溶胶–凝胶的制备方法

　　公开日 2011.03.30

　　申请人 中国科学院理化技术研究所

　　地址 北京市海淀区中关村北一条2号

　　本发明属于材料表面化学镀膜技术领域，特别涉及在玻璃基底上制备钇掺杂氧化锌透明导电薄膜的光助溶胶–凝胶的制备方法。本发明采用光助溶胶–凝胶法和分层退火方式，以醋酸锌和硝酸钇为原料，乙二醇独甲醚为溶剂，乙醇胺为稳定剂制备溶胶，通过调节钇的掺杂量，控制干燥和退火的温度及时间，并采用紫外光照射来实现对钇掺杂氧化锌透明导电薄膜电学性质的控制。本发明制备得到的钇掺杂氧化锌透明导电薄膜的电阻率为2.1 × 10−2 ~ 8.1 × 10−2 Ω·cm，可见光区的透光率(含基底)为85%以上。并且薄膜是由六方纤锌矿结构的氧化锌纳米晶粒构成，晶粒大小均匀，排列致密，晶粒具有c轴优先生长取向。