专利号(申请号):200610017874.3 公开(公告)号:CN1888144 公开(公告)日:2007-01-03 申请日:2006-05-31 申请(专利权)人:中原工学院 页数:6 摘要:本发明涉及一种铅锡层状合金膜的制造工艺,该工艺分别测定铅、锡的沉积电位VPb和Vsn,然后使用可控脉冲电镀厂电镀,脉冲电压V1为|VPb|<|V1|<|Vsn|,脉冲电压V2为|V2|>|Vsn|,每个脉冲间要留置一段时间的零电压脉冲,克服了现有双槽电镀法制造层状合金膜的复杂工序,设计了一种在同一槽中分别沉积铅和铅-锡合金从而形成铅锡层状合金膜的单槽电镀法,该工艺利用铅、锡不同的沉积电位,通过调节外加电压从而分别控制不同金属的沉积,和原有工艺相比,工艺简单,操作简便,并且能制造厚度小于100纳米的合金膜,更有利于工业推广。 |