标准编号: SJ/Z 2927-1988
中文标准名称: 集成电路制版设备名词术语 代替标准号: , 中国标准分类号: 医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>c01技术管理 标准状态: 现行 标准关注次数: 26次 标准上传日期: 2010-1-20 发布日期: 1988-03-10 实施日期: 1988-10-01 英文标准名称: terminology for mask-making equipment for integrated circuits manufacturing 标准类别: 电子行业标准 标准页数: 16页 |