高频感应加热蒸发是将装有镀膜材料的氧化铝或石墨坩埚置于高频感应线圈的中央，利用高频电流的涡流和磁滞效应，致使镀膜材料升温直至气化蒸发。图9-3为高频感应加热源的示意图。高频电流的频率根据不同的材料可在10～lOOkHz范围变化，输入功率为几千瓦至几百千瓦。  图9-3高频感应加热蒸发的工作原理 感应加热蒸发的特点是加热源的装置较简单，但需配备价昂的大功率高频电源;若采用较大的坩埚，能得到较高的蒸发速率，生产率高，适用于某些连续蒸发镀膜设备上;另外，蒸发材料的温度易控制，操作也较简单，且由于涡流直接作用在蒸发材料上，坩埚温度较低，坩埚材料对膜层污染较少。但需对高频电磁场进行屏蔽，以防对外界的干扰。而且如果蒸发材料是非导电介质，则需采用导电的材料制作坩埚来进行间接加热。 高频感应加热蒸镀可用来制备Al、Be、Ti等膜，用于钢带连续真空镀灿等。 |
