用于薄层沉积的铟电镀液

公开日 20090806

发明人 WANG J-X, AKSU S, BASOL B

受让人 Solopower, Inc.

提供了铟电镀液，所沉积的膜层成分单一、均匀、光滑，基本无缺陷，电镀效率接近100%，且重复性好。在一实例中，镀液中包含铟提供源，柠檬酸及其共轭对盐，以及溶剂。在pH小于4.0的条件下所制备的亚微米厚度的铟膜，其纯度和电镀效率都接近100%。这样的铟膜层可用于诸如薄膜太阳能电池等电子设备的制造。