| 公开号 102061454 公开日 2011.05.18 申请人 厦门金鹭特种合金有限公司、厦门钨业股份有限公司 地址 福建省厦门市湖里区兴隆路69号 一种在刀具上涂覆涂层的制备方法，涉及一种刀具。将数控刀片放入反应室内抽真空，通入TiCl4、N2和H2气体混合物，在刀具表面上沉积TiN层;通入TiCl4、N2、CH3CN和H2气体混合物，在TiN层表面沉积MT–TiCN层;关闭气源，通入TiCl4、AlCl3，CO、CO2、CH4、N2和H2气体混合物，沉积粘结相AlTiCNO层;在TiCl4、CO、CO2、CH4、N2和H2气体混合物中，沉积TiCO层;在CO2、AlCl3、HCl和H2气体混合物中，沉积氧化铝成核层;通入AlCl3、CO、CO2、HCl，H2S和H2气体混合物中，沉积氧化铝涂层。涂层表面光洁度较高、晶粒均匀较细密。 |
