| 公开号 102126724 公开日 2011.07.20 申请人 上海交通大学 地址 上海市闵行区东川路800号 一种纳米材料制备技术领域的长度可控的光滑表面硅纳米线阵列的制备方法，首先对硅片进行湿化学清洗，然后在含有氢氟酸和硝酸银的混合溶液中利用无电化学沉积法在硅片表面沉积银纳米颗粒层，经含有氢氟酸和双氧水的混合溶液进行化学刻蚀，最后用硝酸去除银纳米颗粒得到硅纳米线阵列。本发明通过在化学刻蚀体系中简单调节氧化剂双氧水的浓度和刻蚀时间而实现了长度可控的光滑表面硅纳米线的制备，从而解决了在金属辅助化学刻蚀中制备表面缺陷较少硅纳米线的技术难题。 |
