公开号 102108537 公开日 2011.06.29 申请人 常州天合光能有限公司 地址 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 本发明涉及一种太阳能电池电镀前处理工艺，具体步骤如下：首先准备好待电镀电池片，然后在室温条件下，把待电镀电池片放在活化溶液中处理30 ~ 300 s，活化处理后的电池片用去离子水冲洗干净后就可以进行后续的镀镍工艺。活化溶液配备：采用氢氟酸(HF) + 氟化氨(NH4F) + 氯化钯(PdCl2)混合配制活化溶液，HF 50 ~ 200 mL/L，NH4F 10 ~ 100 g/L，PdCl2 0.1 ~ 1 g/L。本发明通过在电镀前增加一道化学处理的办法，在硅片表面待镀镍区域沉积一些高活性的元素，提升硅片表面的活性，镀镍时，这些元素起到成核中心的作用，促使镍更好的形成，获得高质量的镀镍层;同时本发明还可对激光掺杂工艺的损伤进行一定程度的去除效果。 |
