基片保持装置和电镀设备

公开号 101281858

公开日 20081008

申请人 株式会社荏原制作所

地址 日本东京

提供了一种基片保持装置，其包括：一个固定保持元件和一个可移动保持元件，它们用于将一个基片保持在它们之间;一个内侧密封元件，其用于与所述基片的周部压力接触，以密封住所述周部;以及一个外侧密封元件，其围绕着所述基片布置，用于将所述可移动保持元件和所述固定保持元件之间密封。还提供了一种包括此基片保持装置的电镀设备。