| 标准编号：SJ/T 11131-1997标准简介 本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。 英文名称： Basic parameter series of evaporation plating equipment 替代情况： SJ 1098-77 SJ 1099-77 中标分类： 医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理 ICS分类： 电子学>>31.020电子元件综合 发布部门： 中华人民共和国电子工业部 发布日期： 1997-09-03 实施日期： 1998-01-01 归口单位： 电子工业部标准化研究所 起草单位： 成都南光实业股份有限公司 起草人： 陈华先、谭丽、康开丽 页数： 4页 出版社： 电子工业部标准化研究 出版日期： 1998-01-01 |
