| 公开号 101228623 公开日 20080723 申请人 株式会社荏原制作所 地址 日本东京 提供了基板处理单元、基板传送方法、基板洗净处理单元和基板电镀设备，使得诸如机器人臂的基板载入机构在载入基板之后快速释放保持在基板上，从而缩短保持所述基板的时间并提高流通量。所述基板处理单元包括用于将所述基板保持在特定的保持位置的基板保持机构，以及处理机构，用于将规定的处理施加至由所述基板保持机构所保持的所述基板，其中基板引导机构设有引导销，用于将所述基板引导至保持位置附近。所述基板引导机构具有多个位于保持位置的所述基板外周上的辊，而所述的多个辊适于通过从所述基板的侧部将所述基板的周边支承在所述保持位置的附近而支承所述基板，所述的辊具有一体的结构，所述一体的结构包括大直径部分以及形成在所述大直径部分上方的小直径部分，而大直径部分的上侧部分具有肩部，以便所述基板在传送中临时地支承在其上，并且所述肩部形成有朝向其外周、向下倾斜的倾斜表面。 |
