公开号 101016644 公开日 20070815 申请人 霍尼韦尔国际公司 地址 美国新泽西州 一种改进的方法和电镀系统,该电镀系统包括:多个不导电挡板,它构成了细长的上部通道和细长的下部通道;电镀液分布器,它包括一系列入口,这些入口被定位成能引导所有电镀液流过这些入口进入下部通道,并朝上部通道流动;多个阳极,它位于上部和下部通道外部,并沿这些通道的长度方向设置。所述方法包括:将工件浸到电镀液中;让工件至少部分地位于通道内,让电流在阳极和工件之间流动,工件沿通道的长度方向移动。 |
公开号 101016644 公开日 20070815 申请人 霍尼韦尔国际公司 地址 美国新泽西州 一种改进的方法和电镀系统,该电镀系统包括:多个不导电挡板,它构成了细长的上部通道和细长的下部通道;电镀液分布器,它包括一系列入口,这些入口被定位成能引导所有电镀液流过这些入口进入下部通道,并朝上部通道流动;多个阳极,它位于上部和下部通道外部,并沿这些通道的长度方向设置。所述方法包括:将工件浸到电镀液中;让工件至少部分地位于通道内,让电流在阳极和工件之间流动,工件沿通道的长度方向移动。 |