发明专利申请 申请公布号CN102618838A_(43)申请公布日2012.08.01 申请号201210066708.8 申请日2012.03.14 申请人昆山振昆纳米科技有限公司 地址215301江苏省苏州市昆山开发区吴淞江路西侧、同丰路南侧 发明人阮佳龙康进昌罗讷纳唐新荣 专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224 代理人董建林 (51)Int.CI. C23C14/56(2006.01) C23C14/24(2006.01) 权利要求书1页说明书3页附图2页 (54)发明名称 真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳 (57)摘要 本发明涉及的是一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;在加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道。本发明确保了冷却水的流通，避免死角现象的产生，有效地对镀膜腔进行快速降温，降低油扩散泵的温度，解决了降温效果不理想的问题，缩短了抽真空的时间，通过减少了镀膜设备外壁安装厚度，加强了冷却外壳的强度;其结构简单、安全可靠和冷却效果好的优点。 1.真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，其特征在于，所述金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形;在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道。 2.根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm,上述加强圆槽槽深为12_15mm,所述金属罩体的厚度为2-5_。 3.根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，所述加强圆槽的最大直径为24-136mm。 真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳 技术领域 [0001]本发明涉及的是一种真空镀膜机的冷却系统，具体涉及的是一种真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳结构。 背景技术 [0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，其已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、望远镜、显示技术、半导体激光、微机电系统、各种滤光片、建筑玻璃、汽车工业、眼镜片等等，镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。在使用真空镀膜设备制备薄膜材料时，由于必须达到一定的真空度时才可进行镀膜过程，普遍采用油扩散泵来实现真空镀膜的真空条件。冷却系统是保证油扩散泵正常工作的重要条件，在真空镀膜装置上也是一个极为重要的系统。 [0003]现有真空镀膜的冷却系统通常采用两种方式：一种是真空镀膜设备直接与自来水管连接，水管中的水通过自压进入真空镀膜设备冷却系统，经过镀膜设备冷却用后的水通入实验室排水管道;另一种是采用有制冷功能的制冷机冷却设备，冷却装置需有定量的去离子水。但无论那一种冷却方式均是将冷却水流入真空镀膜设备冷却系统的冷却外壳，现有的冷却外壳与真空镀膜设备之间通过隔板固定安装真空镀膜设备外壁上，通过隔板作用使真空镀膜设备外壁与冷却外壳之间形成若干水通道，该冷却水从底部进入冷却外壳内的水通道，然后从上端流出，以便来实现真空镀膜的冷却作用。而这种结构安装的冷却外壳，其强度要求高，且与真空镀膜设备外壁之间的间距大，增加了真空镀膜设备外壁厚度，工艺复杂，而且冷却外壳通过隔板固定在真空镀膜设备外壁，其强度低，使用寿命短，并且在冷却过程中，处于外壳底端的水通道内存在冷却水死角的现象，即难以及时更新冷却水，造成真空镀膜设备的局部冷却效果差，影响整体冷却的效果。 发明内容 [0004]针对现有技术上存在的不足，本发明目的是在于提供一种能够避免死角现象的产生和使冷却水充分循环流通，提高冷却效果以及增加安装强度的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，减少真空镀膜设备外壁安装厚度，结构简单、安全可靠。 [0005]为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现： 真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其包括金属罩体，其特征在于，所述金属罩体上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形，起到加强筋的作用，增加冷却外壳的强度;在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道，确保了冷却水的流通，避免死角现象的产生。 [0006]根据上述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm,上述加强圆槽槽深为12_15mm,所述金属罩体的厚度为2-5mm。 [0007]根据上述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，所述加强圆槽的最大直径为24_136mm。 [0008]本发明通过设置有加强圆槽，并通过加强圆槽构成冷却水流通的循环通道，确保了冷却水的流通，避免死角现象的产生，有效地对镀膜腔进行快速降温，降低油扩散泵的温度，解决了降温效果不理想的问题，缩短了抽真空的时间，通过减少了镀膜设备外壁安装厚度，加强了冷却外壳的强度;其结构简单、安全可靠和冷却效果好的优点。 附图说明 [0009]下面结合附图和具体实施方式来详细说明本发明; 图1为本发明的结构示意图; 图2为图1的A-A剖视的局部图; 图3为本发明的一实施例。 [0010]具体实施方式 为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。 [0011]参见图1至图3,本实施例的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳,其包括金属罩体1，该金属罩体1的厚度为2-5mm，在金属罩体1上设有复数个排列有序，并且内凹的加强圆槽2，在金属罩体1上相邻两加强圆槽2的纵横间距为100-300mm，每个加强圆槽2均呈半球形或圆锥台形，用于增加冷却外壳的强度，使其满足冷却系统需要的强度。在本实施例中，在金属罩体1展开情况，相邻两加强圆槽2的纵横间距为250mm，加强圆槽2呈圆锥台形，即也呈喇机状，其中，加强圆槽的槽深为12-15mm,金属罩体1的厚度为3mm;在加强圆槽的底部即底台中心加工连接现有真空镀膜机的待冷却外壁3的安装孔10，该安装孔10的直径为9_，便用焊接，增强牢固性。 [0012]本实施例中，参见图3，金属罩体1通过安装孔10并以氩弧焊焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁3上，焊接时，焊接填满安装孔10，增加安装的稳定性。在所述金属罩体1与待冷却外壁之间通过加强圆槽2构成循环通道4，冷却水从金属罩体1与待冷却外壁之间循环通道4底部进入，然后由上部流出，由于每个循环通道4相互连通，使其确保了冷却水的相互流通，避免死角现象的产生，提高了冷却效果，延长了其使用寿命。 [0013]值得一提的是，加强圆槽2的最大直径为24-136mm，本实施例中，在金属罩体1上加工有最大直径即口径为24、55、136mm的加强圆槽2，该口径为55mm的加强圆槽的槽深为15mm,其槽壁为圆弧形状，该槽壁与金属罩体弯折位置设置为倒角11。 [0014]本发明通过设置有加强圆槽2，并通过加强圆槽2构成冷却水流通的循环通道4，确保了冷却水的流通，避免死角现象的产生，有效地对镀膜腔进行快速降温，降低油扩散泵的温度，解决了降温效果不理想的问题，缩短了抽真空的时间，通过减少了镀膜设备外壁安装厚度，加强了冷却外壳的强度;其结构简单、安全可靠和冷却效果好的优点。 [0015]以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。 |
