1、原理： 在X射线照射下，各种金属原子会激发出特征波长的X射线，特征X射线的强度在一定厚度范围内与该金属镀层厚度存在定量关系。 2、使用仪器：X荧光测厚仪 3、测量步骤： a、根据样品特性建立并校准程式(第一次使用)。 b、将样品放入样品台并使被测表面水平。 c、聚焦后开始测量，测量完毕电脑自动显示或打印结果。 4、标准文件：ASTM B568-98(2004) 5、优点：无损检测、方便快速、可测1μm以下镀层厚度。 6、缺点：仪器和标片价格昂贵，需经常校正。 7、注意要点： a、建立或选择的程式要与被测样品从镀层到基材一至。 b、每天测量前仪器要校准。 c、被测样品表面尺寸要大于光圈孔径两倍。 |
