氮化钛膜的制备

由于氮化钛膜有很高的硬度，耐蚀及耐磨性能好，类似黄金色彩，因此广泛用作装饰和切削工具的保护性镀层。

①离子轰击。预真空的真空度为;充氩气为0.4Pa ;离子轰击条件：电压#350V，电流6A，时间5min。

②蒸发。氮气分压0.13Pa;用电子束蒸发，镀件的偏压为20~90V,(最佳值为40V左右)，镀件温度500℃;成膜速度，膜层厚度1.5~2um。