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一种在LED外延片上电镀铜的方法

放大字体  缩小字体发布日期:2018-11-21  浏览次数:1902
核心提示:本发明公开了一种在LED外延片上电镀铜的 方法

申请号 201610099843. 0

申请日 2016. 02. 23

申请人河源市众拓光电科技有限公司 地址517000广东省河源市高新技术开发区兴业大道东边、高新一路创业服务中心 三楼317室

发明人李国强

专利代理机构广州市越秀区哲力专利商标 事务所(普通合伙)44288

代理人李健富

发明名称

一种在LED外延片上电镀铜的方法

摘要

本发明公开了一种在LED外延片上电镀铜的 方法,包括以下步骤:(1)在外延片表面依次蒸镀 Cr层、Pt层和Au层,得到复合基板;(2)清洗复合 基板,再用浓度为5 % -10 %私804对其进行表面活 化;(3)用UV膜将复合基板背面进行包覆;(4)将 含磷0. 04-0. 065wt%的磷铜阳极进行黑化1 -5h, 然后进行清洗;(5)将处理后的磷铜阳极和复合 基板放入电镀液中进行电镀,得到电镀样品;(6) 对电镀样品进行清洗,取下UV膜。本发明工艺简 单,且制备的镀铜层无铜屑附着、无毛刺、表面均 匀性好、平整性好、粗糙度低,具有较高的光提取效率。
   一种在LED外延片上电镀铜的方法 (1).pdf

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