专利号(申请号):CN02152914.0 公开(公告)号:CN1408899 公开(公告)日:2003-04-09 申请日:2002-08-02 申请(专利权)人:希普雷公司 页数:20 摘要:提供用于加速剂溶液的添加剂,其包含一种或多种加速剂溶液悬浮体抑制化合物。对于化学镀铜方法,通过在加速剂处理工艺中使用含这种添加剂的加速剂溶液,可以阻止加速剂溶液混浊度的增加。 |
专利号(申请号):CN02152914.0 公开(公告)号:CN1408899 公开(公告)日:2003-04-09 申请日:2002-08-02 申请(专利权)人:希普雷公司 页数:20 摘要:提供用于加速剂溶液的添加剂,其包含一种或多种加速剂溶液悬浮体抑制化合物。对于化学镀铜方法,通过在加速剂处理工艺中使用含这种添加剂的加速剂溶液,可以阻止加速剂溶液混浊度的增加。 |