以下列配方为例,简述如下:
(1)磷酸。磷酸是成膜的主要成分,无磷酸不能成膜。磷酸低于或超过工艺规范浓度,会导致膜层过薄,抗蚀能力降低。
(2)铬酐。铬酐是氧化剂,是成膜的必要成分,若此溶液中无铬酐成分,则溶液的腐蚀性加强,难以成膜。此工艺配方中铬酐达到7g/L即能成膜,但不宜过高于工艺配方要求。
(3)氟化氢铵。氟化氢铵是活化剂,在氧化溶液中_与磷酸、铬酐互相协同作用而生成致密的膜层。但若配方浓度低则不能获得转化膜,浓度过高时成膜速度加快,导致膜层过厚、疏松。
(4)硼酸。加入硼酸是为了稳定溶液pH值,控制转化反应速度,改善膜层外观质量。
(5)磷酸二氢铵。磷酸二氢铵以稳定溶液为主,兼而有利膜层质量获得细化之用。 |