以下列配方为例进行说明。
(1)溶液温度。当槽液正常时,溶液温度是决定膜层质量的主要因素。当溶液温度低于工艺配方时,膜层不易增厚,因而耐蚀性差;高于工艺配方时成膜速度加快,容易引起过厚,且膜层疏松。
(2)处理时间。处理的时间需根据当时转化液的转化能力和温度而定,若当时转化溶液的转化能力较强,溶液温度又较高时,则转化时间要控制在工艺规范的下限;反之则应控制在工艺规范的上限。 |
以下列配方为例进行说明。
(1)溶液温度。当槽液正常时,溶液温度是决定膜层质量的主要因素。当溶液温度低于工艺配方时,膜层不易增厚,因而耐蚀性差;高于工艺配方时成膜速度加快,容易引起过厚,且膜层疏松。
(2)处理时间。处理的时间需根据当时转化液的转化能力和温度而定,若当时转化溶液的转化能力较强,溶液温度又较高时,则转化时间要控制在工艺规范的下限;反之则应控制在工艺规范的上限。 |