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仿金色:干法镀

放大字体  缩小字体发布日期:2012-04-24  浏览次数:1172

   干法镀目前常用方法有真空蒸镀、阴极溅射和离子镀三种。此三种干法镀性能的比较见表1。

表1三种干法镀性能的比较

   方 法

   真空蒸镀

   阴极溅射

   离子镀

   镀覆机理

   真空蒸发

 真空等离子体

 真空等离子体

 蒸

 发

 金

 属

低熔点金属

高熔点金属

合金

提供金属方法

容易

可以

困难

每次补充

可以(工件要水冷)

容易

容易

长期连续使用

容易

可以

可以

每次补充

 

 膜

 的

 性

 质

成膜速度

针孔

与工件结合力

均镀能力

遮蔽性能

沉积速率

一般

只镀直射表面

慢(随材料变化)

极少

良好

只镀直射表面

较快

极好

能镀整个表面

 

 特

 点

真空度

操作难易

生产难易

工作温度/℃

高真空

良好

极好

30~200

中真空

150~500

中真空

一般

良好

150~800

   这类工艺的共同特点是:操作方便、占地少、效率高、结合力好、膜层均匀且纯度高、无公害和无氢脆等。存在的缺点是:设备价格高,膜层质量还存在着一些问题,但它已成为传统的湿法电镀工艺的竞争对手了。

   干法镀的一个关键是设备,我国均能生产这类设备。干法镀的操作随设备不同而异,本节仅介绍三种干法镀的概况,详细请查阅随设备所附操作说明。

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