离子镀兼有真空蒸镀与阴极溅射两种工艺的特点。它借助于一种惰性气体的辉光放电，使金属或合金蒸气离子化。离子经电场加速而沉积在带负电荷的工件上。 在运转时，蒸发材料原子(或分子)电离为带电离子，在电场中按电力线方向运动，只要电力线到达的地方，离子都能到达。因此，凡被电场包围的工件任何部位都能获得良好的镀层。 离子镀时离子沉积的能量达到30～l000eV，故结合力极好，再复杂形状的工件也能镀覆，沉积速率也较快，一般在1～50µm／min。膜层致密无孔。 离子镀不仅用于金属工件，在陶瓷、玻璃、塑料等各种非金属上也能牢固黏着。 常用的仿金色离子镀有：氮化钛、氮化钽、氮化锆及碳化钛等。离子镀目前已投入批量生产。展望未来，其发展前途是无法估量的。 离子镀原理示意图见图1。
图1离子镀原理示意图 |
