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碱性氯化铜蚀刻液:碱性蚀刻液配方

放大字体  缩小字体发布日期:2012-05-02  浏览次数:1538

氯化铜(CuCl2)

100~200g/L

   氯化铵(NH4Cl)

lO0g/L

   氨水(NH3·H20)

650~700mL/L

   温度

50℃

   pH值

8.5~9.5

  其中,氨水作为络合剂,能使铜保持在溶液中。氯化铵能提高溶液的稳定性,并提高蚀刻速率及溶铜能力。

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