对于多种镀覆层与基体的组合，其厚度可以通过β射线反向散射仪来进行非破坏性厚度测量。当β粒子(快速电子)进入镀层时，粒子会与包括镀层在内的原子相互制约从而损失能量和偏离轨道。由于在轨道中与原子大量撞击的结果，很多粒子会从原来进入的镀层反向穿出，这就是反向散射。 β粒子和原子的撞击的概率，随着轨道原子的数目的增多而增加，因此，对于给定密度的材料，具有在这种一定密度材料中穿过的速度。由于粒子能量与镀层和基体材料的穿透速度的差别，从而可以利用|3射线反向散射的强度来测量镀层的厚度。 应用β射线反向散射方法测量镀层厚度，需要镀层与基体材料在原子序上有足够大的间隔。测量较小制件时，被测部位应保持不变，以消除试样几何形状的影响。β射线反向散射测量技术较多用于各种基体金属上贵金属的薄镀层如金、铑等的测量。 |
