现在对表面进行观测所用到的技术涉及微电子技术、显微技术、电脑及解析软件、微传感技术等。所用到的设备有各种扫描型显微镜,比较典型的有以下几种。 探针式扫描显微镜(Scanning Probe Microscope),简称SPM。隧道式扫描显微镜(Scanning Tunneling Microscope),简称STM. 原子力显微镜(Atomic Force Microscope),简称AFM。 场式扫描型光学显微镜(Scanning Near-field Optical Micr0-scope),简称SNOM。 激光扫描显微镜(Scanning Laser Microscope),简称SLM。 电化学扫描显微镜(Scanning Electro Chemistry Microscope),简称SECM等。 这些显微技术在现代传感器技术的支持下,可以对表面进行微观静态或动态的观测,从而更加直观地获取表面过程的信息。 |