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专利号(申请号)：200820007088.X 公开（公告）号：CN201190181 公开( 公告)日：2009-02-04 申请日：2008-04-23 申请（专利权）人：吴明鸿 页 数：18 摘要： 一种化学气相沉积系统的多片式活动电镀车台，用以供多个待电镀基板载设于上，包括一车架、多个设置于该车架上的承载座、一设置于所述承载座上的电极板单元及一盖设于该电极板单元上的绝缘顶盖。通过将该多片式活动电镀车台移出该化学气相沉积系统的外部事先进行独立加热作业，而能够使设置于该多片式活动电镀车台上的电极板单元及所述待电镀基板得到均匀的受热，并能改善以往在该化学气相沉积系统内加热时具有的受热不均且加热缓慢的问题，因此而能达到提高电镀良率、缩短加热所需时间以减少整体作业成本的功效。 |
