专利号(申请号):200810127721.3 公开(公告)号:CN101302632 公开( 公告)日:2008-11-12 申请日:2008-04-03 申请(专利权)人:罗门哈斯电子材料有限公司 页 数:19 摘要: 本发明公开了用于在基底上电镀金属的金属电镀组合物,其包括一种或多种金属离子源和一种或多种具有下式的化合物: R1-A-R3-A-[C(O)-R5-C(O)-A-R3-A]n-R2。该金属电镀组合物包括能影响其整平能力和匀镀能力的化合物。本发明同时公开了在基底上电镀金属的方法。 |