气相沉积
根据沉积的机理不同，气相沉积可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子增强化学气相沉积。它们的共同特点是将具有特殊性能的稳定化合物直接沉积于金属模具表面，形成一层超硬覆盖膜，从而使模具具有高硬度、高耐磨、高抗蚀等优异性能[2，4]。化学气相沉积是将模具工件置于有氢气保护的炉内，加热到高温(800 ℃以上)，向炉内通入反应气，使之在炉内热解、化合成新的化合物，沉积在工件表面，通常涂膜厚度为6～109m；物理气相沉积是指在真空条件下，用物理方法在金属表面沉积一层具有特殊性能的薄膜；等离子增强化学气相沉积是介于化学气相沉积和物理气相沉积之间的一种处理方法，它兼有化学气相沉积的良好绕镀性及物理气相沉积可低温成膜的优点，设备简单，操作方便，适用于形状复杂的精密模具。
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