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电镀研磨工具及方法和模具

放大字体  缩小字体发布日期:2012-04-13  浏览次数:1222

专利号(申请号):200680052157.2

公开(公告)号:CN101336147

公开( 公告)日:2008-12-31

申请日:2006-11-30

申请(专利权)人:宋健民

页 数:22

摘要:

本发明提供一种固定有研磨粒子的模具,该多个研磨粒子是在电解程序其间以电解方式附加在一导电性基材。该模具可具有一绝缘材料,绝缘材料的模面在此程序中用于固定该研磨粒子。此外,本发明亦提供一使用该模具的研磨工具制造方法以及一由该制造方法生产的研磨工具。在本发明一方面,研磨工具的尖端可依照一预设的垂直或水平图形而配置而仅需极少或是不需后电沉积程序。

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