- 采购数量：
- 公司所在地：江苏苏州市
- 价格要求：
- 有 效 期：2013-03-16 [已过期]
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我们公司因生产所需，拟订购/定制一台适于MEMS的微电镀设备。
需电镀2~3种金属，要求制作为整机型式，且相互之间无交叉污染。
线宽几十到几百微米，厚度几十纳米到几十微米，要求片内均匀性≤5%，且电镀重复性、稳定性高。
衬底为8"晶圆，要求在阴极夹具设计上兼容6"、4"晶圆和不规则片。
有意者请分别就电镀两种金属和电镀三种金属提出定制方案，并分别给出报价。
欲了解我们的需求详情，请与我联系!
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