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是通过加热或离子轰击（喷射）使坚固的高纯度涂层材料（金属，如钛、铬和铝）蒸发。
1.精密衡压模具经真空涂层被覆后表面可拥有极低的摩擦系数，减少加工受力。模具经真空涂层被覆后表面硬度可提高5到10倍，可大幅减少表面磨耗，特别是用于高精密加工时可获得非常优异的表面质量。冷冲成形及拉伸模具经真空涂层被覆后可显著降低摩擦力，明显减少加工中产生的刮痕及磨耗。因此可增加寿命，大幅降低成本.
优点：
摩擦系数降低，减小加工受力
提高表面硬度，大大延长模具寿命
防止产品拉毛、拉伤，提升产品质量
省去卸模、抛光再装模的烦恼，提高效率
2.塑料模具由于其结构复杂决定了加工难度大，故造价相对较高，所以提高模具的寿命就是一个主要课题，尤其镜面和蚀纹面，就特别容易磨损，这一直是一件令人十分苦恼的事情。经过真空涂层的塑料模具表面硬度的提高，使得抗磨耗性显著提高；而且因模具表面光洁度的增强和摩擦系数的降低使得胶料的流动性更好以及塑料产品更易脱模。同时真空涂层更因其特殊的晶格结构在模具表面形成致密的保护层，可以非常有效的解决腐蚀的弊病。更为重要的是，由于我们的涂层完全不会改变模具的表面状况，无论是镜面还是蚀纹面，甚至要求极高的CD模具
优点：
耐磨性更高，模具寿命大大延长
胶料的可流动时间更长，填模效果更佳
塑料产品表面质量提高，不良率降低
脱模更容易，甚至可避免使用脱模剂
有效防止腐蚀性原料侵蚀模具基体
模具易于清洁，且清洁周期更长
3. 切削刃具如铣刀、钻头、锯片、顶针、丝攻、、绞刀等，经真空涂层被覆后，在切削过程中刀刃部分可以承受高达800℃高温仍然保持良好的硬度，同时刃具表面有了更多的磨损容量和更低的摩擦系数，因此可以降低切削受力，提高产品表面质量及精度。经过纳米被涂层覆后不但可以延长刀具的使用寿命，还可以提高切削参数，甚至实现干式切削，除去切削液的使用，保护了环境同时又降低了制造成本。
优点：
大幅提高刀具寿命
更加耐高温，可干式切削
提高切削参数
提高生产效率
被加工产品质量提升
4.电子产业真空涂层不仅在五金、塑料机械行业的刀模具上得到应用，其表面硬度高、光洁度好、精密度高等诸多卓越性能使其在电子行业也同样倍受青睐。例如端子刀片、IC封装模、PCB加工的微铣微钻、PCB孔冲压模、金手指模具等, 在这些产品上涂层不仅解决了使用者的诸多困扰，还为他们带来了更多的效益。
优点：
涂层厚度很薄，可满足电子业高精密度的要求完全环保，满足各种安规要求(如RoHS指令)提高工具或零件的耐磨性,保证产品质量的稳定性
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