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SFT9200
运用荧光X射线测定镀膜厚度，SFT系列膜厚测量仪被称作标准的机器，有小型零部件用的SFT9200和大型打印基板用的SFT9255。装备着防止样品和设备构造不一致的功能。
产品特点：
是SFT3000系列的后续机型。
·依据照明，可以看到以前观察困难的样品。
·搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。
·运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。
·微小领域的观察也很容易。搭载了能4阶段切换的可变焦距透镜。（任选）
·搭载了焦点切换功能，能够对有高度的样品的低部分进行测定。（任选）
基本参数：
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型号
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SFT9200系列
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射线源
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空冷式小型X射线管
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准直器
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□型 0.2 x 0.05mm、0.05 x 0.2mm
○型 0.1mm, 0.2mm、0.3mmφ
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样品观察
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CCD照相机
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过滤器
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Co:自动切换
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样品平台
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移动量: 220（X）x 150（Y）x 150（Z）mm
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X-ray Station
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电脑（Windows2000®）17英寸CRT
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