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常见的真空材料表面上的污染物具体有以下几种类型。
①油脂：加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；
②水基类：操作时的手汗、吹气时的水汽、唾液等；
③表面氧化物：材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物；
④酸、碱、盐类物质：清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；
⑤抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物等。