一、工艺简介
BAg-20是一种高速镀银工艺,镀液稳定性好,适于高电流密度下大量生产。此工艺适用于半导体材料、集成电路和转换器。
工艺具有以下特点:
1. 镀层光亮度好,并可通过补充剂来调控镀层的亮度;
2. 镀液含少量游离氰化钾,呈弱碱性;
3. 镀层具有良好的可焊性和耐腐蚀性;
4. 镀层纯度高,含银超过99.9%;
5. 镀银硬度达到80~130Knoop。
二、溶液组成及操作条件
参数 |
单位 |
范围 |
最佳 |
Ag |
g/L |
50~70 |
60 |
KAg(CN)2 |
g/L |
90~130 |
110 |
游离KCN |
g/L |
2 |
|
BAg-20开缸剂 |
ml/L |
500 |
|
BAg-20补充剂 |
ml/L |
5~100 |
视亮度要求 |
BAg-20润湿剂 |
ml/L |
3~7 |
5 |
pH |
8.0~9.5 |
8.5 |
|
比重 |
0Be |
17~25 |
21 |
温度 |
℃ |
50~70 |
60 |
电流密度 |
A/dm2 |
30~150 |
视设备和生产需要 |
沉积效率 |
mg/A·min |
67 |
|
沉积速度 |
s/μm |
约1.0(100A/dm2) |
|
过滤 |
连续过滤 |
三、设备
槽体: 聚丙稀、聚乙烯或耐高温聚氯乙稀
阳极: 使用铂阳极
过滤: 聚丙烯棉芯连续过滤
加热器: 石英、不锈钢(304,316)
整流器: 波纹数≤4.8%
四、开缸步骤(100L工作液)
1.在已清洗干净的镀槽中,加入50L BAg-20开缸剂,并加热到50~60℃;
2.加入200g氰化钾,搅拌至溶解;
3.用约5L热水溶解11kg氰化银钾,并加入到上述溶液中,搅拌均匀;
4.加入500ml BAg-20润湿剂;
5.加入5~100ml/L BAg-20补充剂(具体加入量根据亮度要求);
6.用20%氢氧化钾溶液,调节pH至8.0~9.0之间;
7.加纯水至100L。
五、各成分作用及溶液维护
1.氰化银钾 镀液主盐,按照分析结果补加;
2.BAg-20开缸剂 用于开缸和维护,与氰化银钾一起维持镀液比重在17~25;
3.BAg-20补充剂 用于开缸和维护,根据镀层的光亮要求来补充,通常每添加1g金属银,同时补充2ml补充剂;
4.BAg-20润湿剂 用于开缸和维护,消耗量0.5~2.0LKAh(视生产状况);
5.BAg-20酸, 用于降低镀液的pH值,与20%氢氧化钾一起维持镀液pH值在工艺范围。