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性能及特点：
SCQ-2000TB石墨舟清洗机是用于清洗管式PECVD石墨舟的设备，用HF酸浸泡清洗后再用纯水漂洗，最后用氮气吹干，适用于长度<1500MM的石墨舟清洗。
功能介绍：
1.设备分为2个清洗槽，每个槽都能满足酸槽要求，为浸泡式清洗，人工装/取工件，顶部有吸风罩，由气动隔膜泵将酸在两槽之间循环抽液，实现清洗功能。
2.有4只安装石墨舟片子的瓷白色PP篮框。
技术参数：
电机功率：240W 220V
使用的清洁剂：HF
压缩空气：0.5Mpa-0.7Mpa
外形尺寸：3800*1410*1950mm