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通过组合可选的高压和滤片，可以对较薄的镀层（如50 nm Au 或 100 μm Sn）和较厚的镀层进行同样效果的测量.配有的微聚焦管，可以测量100 μm大小的微小测量点。比例计数器可实现数千cps（每秒计数率）的高计数率。从下至上的射线方向，从而可以快速简便的放置样品。底部C型开槽的大容量测量舱 。