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| 制膜种类 | 多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等 |
| 电源类型 | 直流磁控电源、中频磁控电源、高压离子轰击电源 |
| 真空室结构 | 立式双开门、立式单开门 |
| 真空系统 | 滑阀泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统） |
| 充气系统 | 质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 | 6×10－4 pa（空载、净室） |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5×10－3 pa小于15分钟 |
| 工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 |
| 控制方式 | 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC |
| 备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
特征描述
主机控制采用可编程序控制器（PLC）+触摸屏（HMI）组合电气控制系统。全自动控制，配置先进大功率
磁控电源，恒流输出，克服靶中毒。
用途/应用领域
振华产品
镀膜样品
