日期:2012-08-02 16:44
标准编号: SJ/Z 2927-1988
中文标准名称: 集成电路制版设备名词术语
代替标准号: ,
中国标准分类号: 医药、卫生、劳动保护医药、卫生、劳动保护综合c01技术管理
标准状态: 现行
标准关注次数: 26次
标准上传日期: 2010-1-20
发布日期: 1988-03-10
实施日期: 1988-10-01
英文标准名称: terminology for mask-making equipment for integrated circuits manufacturing
标准类别: 电子行业标准
标准页数: 16页