日期:2012-09-25 15:14
(即i/iL0.6)下操作，可以使亮度、硬度和内应力得到增加。
当沉积层的硬度在250～350(KHN50，努普硬度)之间时，硬度值随着i/iL增加而增大。采用Nakahara等人[1053的方法测量1.25弘m厚膜的延展性，伸长率在3%～7%之间。总之，这种膜比硬金更硬、延展性更好。
透射电子显微镜表明，颗粒生长是非外延的，颗粒尺寸随操作的电流比(i/i。)而变化。初步结果显示电流比i/i】，为0.1时，颗粒尺寸在150～800A(1A=0.1nm)之间，当电流比i/il.为0.9时，颗粒尺寸范围在30～50A之间。因此，当操作电流比i/il。增加时，可得到小颗粒，平滑的沉积。相比之