金属薄板带钢大面积高速电子束沉积 - 电镀技术

金属薄板带钢大面积高速电子束沉积
日期:2013-01-09 10:25
离子源用不上。弗劳霍夫最近开发了一种脉冲等离子激活处理(Pulse plasma Activiated Treatment，PAT)技术。在接地的工件背后放置一环形缝隙磁场。磁场穿透被镀薄板。在薄板另一边有一栅网空心阳极。阳极处电流以 10~30kHz频率脉冲。结果显示这一装置可在大面积内实现15纳米/秒的刻蚀速度。