日期:2012-04-18 09:33
4.铜镀层的结构与形貌
图3a和b分别为镀液中无光亮剂和含0．04 mL／L光亮剂时所得铜镀层的XRD谱。无光亮剂时，镀铜层呈面心立方结构，出现(111)、(200)、(220)和(311)晶面衍射峰，说明此时铜镀层为多晶结构。XRD谱中未见一价铜化合物(如氯化亚铜、氧化亚铜等)的衍射峰，说明镀层纯度较高。镀液中加入0．04 nlL／L光亮剂后，铜层晶面结构改变，仅出现(111)和(200)晶面衍射峰，且衍射强度比无光亮剂时高得多，分别从5．34×103 S-1和3．63×103 S-1叫提高至31．07×103 S-1和101．Ol×103 S-1，表明添加剂不仅阻碍铜的电沉积，而且影响铜电