【作 者】[德]W.Menz J.Mohr O.Paul 付建军 等审 【出版单位】化学工业出版社 【出版日期】2003-9-1 【定 价】¥38 元 【图书简介】 本书是德国WILEYVCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本,讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章,前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等;5~10章为本书核心,详细介绍微系统技术的基本工艺方法,包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。 【图书目录】
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