环球电镀网
当前位置: 首页 » 电镀资讯 » 电镀书籍 » 正文

《微系统技术》

放大字体  缩小字体发布日期:2011-11-23  浏览次数:951

【作    者】[德]W.Menz J.Mohr O.Paul 付建军 等审

【出版单位】化学工业出版社

【出版日期】2003-9-1

【定    价】¥38 元

【图书简介】

  本书是德国WILEYVCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本,讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章,前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等;5~10章为本书核心,详细介绍微系统技术的基本工艺方法,包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。

【图书目录】

网站首页 | 网站地图 | 友情链接 | 网站留言 | RSS订阅 | 豫ICP备16003905号-2