日期:2012-06-08 09:55
的有机添加剂分为3类:抑制剂、加速剂和整平剂。除此而外,还需要加入一定量的Cl-。一般认为,Cl-在硫酸铜镀铜液中具有3个方面的作用:首先,在抑制剂作用过程中,Cl-与Cu2+形成的Cu+Cl-配位体,为抑制剂的吸附提供了活性区域,使抑制剂能够更好地吸附在电极表面,从而形成阻挡层[4-6];其次,在加速剂作用过程中,加速剂能够和Cl-结合而形成导通桥,加速传质过程,从而提高Cu2+的反应速率[6-8];再次,Cl-自身与Cu2+的反应过程中形成了离子桥,起到催化作用[4-5,9-11]。另外,Cl-对铜沉积层的结构、晶粒取向和表面反应动力学都有一定的影响